Лазерный планарный интерферометр

Лазерный планарный интерферометр (LPI-100) со скоростью динамических измерений в реальном времени до 15 кадров в секунду способен обнаруживать в реальном времени форму поверхности плоских оптических элементов в пределах апертуры 100 мм. Луч, несущий информацию о форме поверхности измеряемого элемента, дифрагируется через специально закодированную решетку, которая поперечно разрезает волновой фронт на четыре части, образуя двумерную интерференционную картину сдвига общего пути с четырьмя волновыми фронтами. Путем демодуляции двумерной интерференции можно получить информацию о форме поверхности элемента.

Спецификация товара:

Особенность лазерного планарного интерферометра BOJIONG

◆До 15 кадров динамических измерений в реальном времени.

◆2 нм среднеквадратичное высокое фазовое разрешение

◆Сверхвысокое разрешение: 262144 фазовых точки.

◆Может реализовать динамическое обнаружение в реальном времени, может обеспечить динамическое обнаружение со скоростью 15 кадров в секунду.

◆С независимыми правами интеллектуальной собственности, экономичностью, простой настройкой, компактной структурой.

◆Основываясь на принципе самоинтерференции общего канала, оборудование не требует эталонного зеркала и обладает высокой устойчивостью к помехам, в обычных заводских условиях также может достигать точного обнаружения плоской поверхности.

Применение лазерного планарного интерферометра BOJIONG

Этот лазерный планарный интерферометр BOJIONGL оснащен четырехволновыми интерферометрическими датчиками FIS4 для определения стандартной формы плоского зеркала, а программное обеспечение обработки выводит значение PV, среднеквадратичное значение и значение POWER поверхности тестируемого компонента.

Подробности о лазерном планарном интерферометре BOJIONG

Общая схема планарного четырехволнового динамического интерферометра BOJIONG

Функциональные модули лазерного планарного интерферометра BOJIONG можно разделить на модуль источника осветительного света, модуль расширения вторичного луча, модуль носителя, модуль точечной фокусировки для помощи в регулировке положения образца и модуль интерферометрического датчика для определения формы поверхности образца. .

Модуль источника света системы использует газовый гелий-неоновый лазер с центральной длиной волны 632,8 нм.

Модуль расширения вторичного луча увеличивает размер луча до 100 мм, что соответствует требованиям обнаружения большого диаметра.

Секция столика используется для размещения плоских оптических компонентов, подлежащих тестированию, таких как плоские кристаллы, одноходовые пластины, оконные чипы, плоские отражатели и т. д. Загрузочный столик оснащен маховиками, перемещающимися в направлениях X и Y для управления движением образца. этапе так, чтобы световое пятно, излучаемое оборудованием, полностью покрывало поверхность испытуемого образца. В то же время на столике также установлены две ручки для регулировки положения наклона образца. Регулируя эти ручки, испытательную плоскость делают перпендикулярной оптической оси.

Система визуализации имеет систему с двумя камерами. Один из них использует камеру оптического формирования изображения для формирования модуля точечной фокусировки, помогающего регулировать положение образца. Наблюдая за положением возвратного пятна образца в режиме реального времени, положение образца регулируется для обеспечения точности измерений. Другой путь оснащен четырехволновым интерферометрическим датчиком FIS4, образующим модуль интерферометрического датчика для определения формы поверхности образца. Записывая интерферометрические полосы общего пути, можно добиться обратной связи трехмерной информации на поверхности испытуемого образца в реальном времени. Система двойной камеры может работать одновременно.

Профессиональный программный модуль

◆Оснащенный программным обеспечением «Лазерный планарный интерферометр», он может отображать и выводить в реальном времени 3D-изображения измеряемой плоскости оптического элемента, выводить значения PV, среднеквадратичные значения и значения МОЩНОСТИ измеряемой поверхности.

◆В то же время программное обеспечение поддерживает экспорт необработанных данных результатов измерений, обеспечивая поддержку количественных данных обнаружения для различных исследований и помогая пользователям проводить анализ данных и исследования в будущем.