Четырехволновой интерферометрический датчик FIS4разработан командой профессоров Чжэцзянского университета и Наньянского технологического университета, Сингапур. Он имеет отечественную запатентованную технологию, сочетает в себе дифракцию и интерференцию, реализует четырехволновую интерференцию бокового сдвига по общему пути, обладает сверхчувствительностью обнаружения и вибростойкостью и может выполнять высокоскоростные динамические интерферометрические измерения в режиме реального времени без виброизоляции; Частота кадров дисплея измерений в реальном времени достигает более 10 кадров. В то же время датчик FIS4 имеет сверхвысокое фазовое разрешение 512×512 (260 000 фазовых точек), диапазон измерения охватывает 200–15 мкм, чувствительность измерения достигает 2 нм, а повторяемость измерений лучше 1/1000λ ( РМС). Его можно использовать для анализа качества лазерного луча, обнаружения поля плазменного потока, измерения высокоскоростного распределения поля потока в реальном времени, оценки качества изображения оптической системы, микроскопического измерения контура и количественной визуализации фазы биологических клеток и т. д.
Датчик помех FIS4, одиночныйоптический путь интерференции лучей
Принцип работы четырехволнового интерференционного датчика заключается в том, что регистрируемый волновой фронт дифрагируется гибридной решеткой со случайным кодированием, и четыре дифрагированных света генерируются в двух ортогональных направлениях. Эти четыре дифрагированных света интерферируют на поверхности изображения, и можно получить четыре интерференционных полосы бокового сдвига волнового фронта.
Преимущества четырехволнового интерференционного датчика: помехи по одному оптическому пути обладают сверхсильной вибростойкостью, не требуется опорный свет, простая компоновка, не требуется специального интерференционного устройства, быстрая и легкая настройка, возможно получение изображений в реальном времени, отсутствие фазового сдвига требуется процесс, и он особенно подходит для высокоточного обнаружения в заводских условиях.
