Для крупных тестовых компонентов, таких как кремниевые и сапфировые пластины, детектор поверхностных дефектов оптических компонентов AOI1000 обеспечивает разрешение обнаружения до 0,5 микрометра и максимальную инспекционную апертуру 1000х600 мм. Устройство способно автоматически генерировать отчеты в форматах отчетов, включая военный стандарт США MIL-PRF-13830A/B и международный стандарт ISO 10110-7.
|
наименование товара |
AOI1000 Детектор дефектов поверхности оптических компонентов |
|
Максимальный размер обнаружения |
1000ммX600мм |
|
Разрешение обнаружения |
0,5 мкм |
|
Метод обнаружения |
Сканирующая визуализация в темном поле |
|
Вывод отчетов |
Национальные стандарты, военные стандарты США и индивидуальные корпоративные отчеты. |
Детектор дефектов поверхности оптических компонентов AOI1000 использует технологию машинного зрения для автоматического, высокоскоростного и высокоточного обнаружения дефектов поверхности на таких компонентах, как кремниевые и сапфировые пластины, эффективно решая проблемы низкой эффективности и низкой точности визуального контроля. . Наивысшее разрешение обнаружения может достигать 0,5 микрометра, а максимальная апертура обнаружения может достигать 1000 на 600 мм. Технология визуализации включает в себя кольцевое освещение и микрорассеянную визуализацию в темном поле. Устройство способно автоматически генерировать отчеты в различных форматах, включая военный стандарт США MIL-PRF-13830A/B и международный стандарт ISO 10110-7.
Подходит для контроля качества дефектов поверхности оптических компонентов, пластин оптических окон, кремниевых пластин, сапфировых пластин и т. д.
Дефекты покрытия: расслоение, повреждение покрытия и т.п.
Дефекты полировки: царапины, ямки, сколы, пузыри, грязь и т. д.
Данное оборудование позволяет устранить следующие виды дефектов:
◆ Многолучевое кольцевое освещение
◆ Визуализация с переменным увеличением с возможностью выбора высокого и низкого увеличения.
◆ Точность обнаружения 0,5 мкм.
◆ Обнаружение нескольких пластин целиком
◆ Линейный двигатель для быстрого получения изображений
◆ Оснащен FFU (блоком вентиляторного фильтра) для обеспечения внутренней чистоты.
Многолучевое кольцевое освещение для визуализации
Микроскоп с автоматическим увеличением от 1X до 8X.
Регулируемый быстрый зажим всей пластины.
Высокоточные линейные двигатели 2D обеспечивают точность быстрой стрельбы.
Вывод таблиц военного стандарта
Отображение результатов теста
Царапины на поверхности покрытия.
Царапины
Пятно лазерного повреждения 1
Пятно лазерного повреждения 2
Наноразмерная точка твердых частиц
Волокно
Расплывание компонентов
повреждение мембранного слоя
|
Детектор дефектов поверхности оптических компонентов AOI450Детектор дефектов поверхности оптических компонентов AOI1000 |
|
|
Элемент |
Описание |
|
Модель |
АОИ1000 |
|
Функция оборудования |
Количественное обнаружение дефектов плоских оптических компонентов со сверхгладкой поверхностью и вывод электронных отчетов в соответствии с результатами обнаружения, такими как Военный стандарт США, Национальный стандарт и Международный стандарт. |
|
Максимальный размер обнаружения |
1000ммX600мм |
|
Точность обнаружения |
Низкое увеличение 5 мкм, большое увеличение 0,5 мкм |
|
Метод зажима |
Зажим всей пластины или зажим одной детали, поддерживающий зажим квадратных и круглых деталей. |
|
Метод выравнивания |
Цельный материал пластины обеспечивает автоматическую фокусировку и электрическое нивелирование. |
|
Метод визуализации |
Кольцевое освещение, визуализация в темном поле с микрорассеянием в соответствии с «Метод количественного обнаружения поверхностных дефектов оптических компонентов — метод визуализации в темном поле с микрорассеянием», описанный в национальном стандарте GB/T 41805-2022. |
|
Метод обнаружения |
Сканирующая строчка при малом увеличении, количественная оценка позиционирования при большом увеличении. |
|
Сканирующий механизм |
Линейный двигатель 2D, ход 150×150 мм. |
|
Параметры камеры |
Большая целевая камера, 5 миллионов пикселей. |
|
Формат отчета |
Excel, формат Word, военный стандарт США, национальный стандарт, международный стандарт или статистический отчет предприятия. |
|
Конфигурация промышленного ПК |
Процессор i7, память 32 ГБ, жесткий диск 1 Тб, видеопамять 6 ГБ. |
|
Размеры оборудования |
900 мм × 800 мм × 2000 мм (Д × Ш × В) |
|
Напряжение источника питания |
220 В ± 10% |
Адрес
№ 578 Yingkou Road, район Янпу, Шанхай, Китай
Тел.
Электронная почта
