Этот анализатор ультрафиолетового волнового фронта с разрешением 512×512 пикселей (262 144 фазовых точки) способен выполнять измерения интерференции в задней фокальной плоскости. Технология требует низкого уровня когерентности от источника света и исключает необходимость фазового сдвига. Благодаря системе ультрафиолетовой визуализации устройство может измерять волновой фронт в реальном времени. Он отличается исключительной виброустойчивостью и стабильностью, что обеспечивает точность измерений нанометрового уровня без необходимости использования средств виброизоляции.
Наименование товара |
Анализатор ультрафиолетового волнового фронта |
Диапазон длин волн |
200–450 нм |
Целевой размер |
13,3 мм × 13,3 мм |
Пространственное разрешение |
26 мкм |
Разрешение выборки |
512 × 512 (262144 пикселей) |
Фазовое разрешение |
<2 нмСКЗ |
Абсолютная точность |
10 нмRMS |
Динамический диапазон |
90 мкм (256 мин) |
Частота выборки |
32 кадра в секунду |
Скорость обработки в реальном времени |
10 Гц (полное разрешение) |
Тип интерфейса |
USB3.0 |
Измерение |
70 мм×46,5 мм×68,5 мм |
Масса |
около 240 г |
◆2 нм среднеквадратичное высокое фазовое разрешение
◆УФ-спектр: диапазон 200–450 нм
◆Сверхвысокое разрешение 512×512 (262144) фазовых точек.
◆Одноканальный световой самоинтерференционный свет, опорный свет не требуется.
◆Чрезвычайно высокие антивибрационные характеристики, нет необходимости в оптической виброизоляции.
◆Так же, как и при визуализации, простое и быстрое построение оптического пути.
◆Поддерживает коллимированные лучи и неколлимированные лучи с высокой числовой апертурой.
Этот анализатор ультрафиолетового волнового фронта BOJIONG используется для измерения аберраций оптической системы, калибровки оптической системы, измерения формы плоской (пластины), измерения формы оптической сферической поверхности и т. д.
Обнаружение волнового фронта лазерного луча |
Реакция обнаружения волнового фронта в режиме адаптивной оптики Цернике |
Пример измерения аберраций оптической системы |
Примеры измерений калибровки оптической системы |
Пример измерения шероховатости поверхности пластины |
Измерение морфологии микротравления - образец дефекта 1 # -114 строк |
Анализатор ультрафиолетового волнового фронта BOJIONG разработан командой профессоров Чжэцзянского университета и Наньянского технологического университета Сингапура с использованием отечественной запатентованной технологии. Он сочетает в себе дифракцию и интерференцию для достижения общей четырехволновой интерференции поперечного сдвига с превосходной чувствительностью обнаружения и антивибрационными характеристиками. и может реализовать высокоскоростную динамическую интерферометрию в реальном времени без виброизоляции. Измерения в реальном времени показывают частоту кадров более 10 кадров. В то же время датчик FIS4 имеет сверхвысокое фазовое разрешение 512×512 (260 000 фазовых точек), диапазон измерения охватывает 200–15 мкм, чувствительность измерения достигает 2 нм, а повторяемость измерений лучше 1/1000λ ( РМС). Его можно использовать для анализа качества лазерного луча, обнаружения поля плазменного потока, измерения в реальном времени распределения поля высокоскоростного потока, оценки качества изображения оптической системы, измерения микроскопического профиля и количественной фазовой визуализации биологических клеток.
FIS4 Технические параметры каждой серии продукции |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
Продукт |
ФИС4-УФ |
ФИС4-HR |
ЧАСЫ ФИС4 |
ФИС4-HS |
FIS4-Ячейка |
ФИС4-НИР |
Диапазон длин волн |
200~450 нм |
400~1100 нм |
400~1100 нм |
400~1100 нм |
400~1100 нм |
900~1200 нм |
Целевой размер мм² |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
Пространственное разрешение |
26 мкм |
23,6 мкм |
26 мкм |
24,4 мкм |
23,6 мкм |
26 мкм |
Пиксель изображения |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
Фазовое выходное разрешение |
512×512 (262144пикселя) |
300×300 (90000 пикселей) |
512 × 512 (262144 пикселей) |
420×420 (176400 пикселей) |
300×300 (90000 пикселей) |
512 × 512 (262144 пикселей) |
Фазовое разрешение |
<2 нмСКЗ |
<2 нмСКЗ |
<2 нмСКЗ |
<2 нмСКЗ |
<2 нмСКЗ |
<2 нмСКЗ |
Абсолютная точность |
10 нмRMS |
10 нмRMS |
15 нмСКЗ |
10 нмRMS |
10 нмRMS |
15 нмСКЗ |
Динамический диапазон |
90 мкм (256мин) |
110 мкм (150мин) |
162 мкм (256мин) |
132 мкм (210мин) |
110 мкм (150мин) |
270 мкм (256мин) |
Частота выборки |
32 кадра в секунду |
24 кадра в секунду |
45 кадров в секунду |
107 кадров в секунду |
24 кадра в секунду |
45 кадров в секунду |
Скорость обработки в реальном времени |
10 Гц (Полное разрешение) |
10 Гц (Полное разрешение) |
10 Гц (Полное разрешение) |
10 Гц (Полное разрешение)Поддерживает отложенную пакетную обработку |
10 Гц (Полное разрешение) |
10 Гц (Полное разрешение) |
Тип интерфейса |
USB3.0 |
НАРЕЗАТЬ |
USB3.0 |
НАРЕЗАТЬ |
НАРЕЗАТЬ |
USB3.0 |
Внешний интерфейс |
- |
- |
- |
- |
C-порт |
- |
Размер мм² |
70x46,5x68,5 |
56,5х43х41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5х43х41,5 |
56,5х43х41,5 |
70x46,5x68,5 |
масса |
около 240 г |
около 120 г |
около 240 г |
около 120 г |
около 120 г |
около 240 г |
Адрес
№ 578 Yingkou Road, район Янпу, Шанхай, Китай
Тел.
Электронная почта